纯氧曝气活性污泥法又称富氧曝气活性污泥法，该方法用纯氧或者是富氧空气作氧源曝气，可以显著提高氧在混合液中的溶解度和传递速度，从而使池内高浓度活性污泥处于好氧状态没在污泥负荷相同时，曝气池容积负荷可大大提高。

    随着池内溶解氧浓度的提高，可以加大氧在污泥絮体颗粒内的参透深度，使絮体中好氧微生物所占比例增大，污泥活性保持在较高水平上，因而净化功能良好；不会发生由于缺氧而引起的丝状菌污泥膨胀，活性污泥颗粒较结实，SVI值一般为30-50；硝化菌的生不会受到溶解氧不足的限制，有利于生物脱氮过程。此外，由于溶解氧和活性污泥的浓度高，曝气池系统耐冲击负荷和工作稳定性都好。

    纯氧曝气法装置复杂，运转管理比较麻烦，密闭池子结构和施工要求高等。